NXT-H
高い装着精度
高剛性構造設計をベースにリニアモータ駆動、高性能カメラを装備。先進的制御技術による最適加重装着と併せ、高精度・高品質な実装を実現します。
クリーン度クラス1000対応
HEPAフィルターにより、クリーン度クラス1000に対応。
クリーンルームで使用されることを前提とし、XYロボットはクリーン化に対応。HEPAフィルタも装着可能で、より半導体部品に適した環境を実現します。
簡単操作
大型15インチタッチパネルとグラフィカルインターフェースを採用。装置本体だけでなく、MWU12iの操作も一元化しました。
ウエハマップ情報の管理はもちろんのこと、フォーマットの変換にも対応しています。
※ユーザーフォーマットは個別対応。
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