系统级封装/模块化器件

M3 IIISE for NXT III

NXT-H

1台NXT-H可以同时对应晶圆、盘装料、带装料。
只要简单地更换供料器材，供料方式就可以彻底改变（以输送带装料为主或以输送盘装料、晶圆为主）。