特長1
高い処理能力
特長2
電気的に中性
電気的に中性なラジカル粒子のみを照射するため、ワークに電気的なダメージを与えません。
特長3
低温処理
照射ガス温度が低いため、耐熱性能の低い材料に使用しても熱による影響を与えません。
特長4
各種ノズル
| 型式 | FPB20 | |
|---|---|---|
| 照射幅 | (mm) | 20 ※処理条件により異なる |
| 使用ガス | N2 (L/min) | 4.98 |
| 使用ガス | Air (L/min) | 0.02 |
| 電源 | (V) | AC100(50Hz) / AC100(60Hz) |
| 消費電力 | (W) | 200 |
| ヘッド寸法 | (mm) | W60xH150xD50 |
| コントローラー寸法 | (mm) | W215.2xH178.6xD380.2 |
| ヘッド質量 | (kg) | 0.5(ケーブル除く) |
| コントローラー、駆動電源質量 | (kg) | 13 |
